半导体洁净厂房的建设及环境要求极为严格,以确保半导体产品的质量和生产效率。以下是对半导体洁净厂房建设及环境要求的详细阐述:
1.设计原则
满足生产工艺需求:设计团队需深入了解生产工艺流程、设备布局、物料流动等方面,确保装修布局能够支持生产工艺的高效运行,并满足洁净度要求。
灵活性、可扩展性和人性化:设计应适应半导体产业快速发展的需求,提高员工的工作效率和舒适度。
2.分区布局
生产区:洁净厂房的核心区域,应严格控制尘埃和微生物的进入,保持高度的洁净度。生产区内应设置独立的操作间、设备间和物料存储区,确保生产流程的顺畅进行。
辅助区:包括办公区、休息区、更衣室等,用于员工办公、休息和日常活动。
动力设备区:主要放置空气净化设备、空调机组、水处理设备等,为整个洁净厂房提供必要的动力和保障。
物流与仓储区:用于原材料、半成品和成品的存储与运输,应合理规划货流、人流和物流通道,确保高效、安全地完成物料的储存与转运。
3.洁净度控制
洁净度等级:根据生产工艺的洁净度需求,选择适当的洁净度等级,并配置高效的空气净化系统。洁净室通常被分为一级、二级、三级到九级等多个等级,等级数越低,意味着洁净室内的颗粒浓度越低,环境更为清洁。例如,光刻车间通常要求达到ISO 14644-1标准中的Class 5(百级)或更高级别。
空气净化系统:包括高效过滤器、活性炭过滤器、紫外线杀菌等手段,以去除空气中的尘埃、微生物等污染物。
4.材料选择与施工要求
装修材料:应满足洁净度、耐腐蚀、易清洁等要求,如不锈钢、不产尘的涂料等。同时,材料的防潮、防霉、防火等特性也需得到充分考虑。
施工要求:确保施工过程中的洁净度控制,避免施工污染对后续生产造成影响。