近年来高科技产业在国内经济发展上有着举足轻重的作用，半导体晶片、TFT-LCD平面显示等大型的厂房也在国内不断的兴建，规模也在不断的扩大。各种高科技产业制作流程越来越精密，相关的仪器设备对于环境振动隔离的要求也越来越严格。在半导体产业有许多设备都必须考虑到降低环境振动，如检验设备SEM、SPM、TEM、曝光设备scanner、stepper、椭圆偏光仪等等，几乎每一台设备都需要安装隔振系统，正因为如此，洁净室工艺设备防微振平台施工显的尤为重要。

一、工法特点

1. 随着生产工艺的不断提高，生产设备对其基础的振动要求也越来越高，厂房内的活动地板已经不能满足要求，需要安装隔振系统。防微振动平台的设立，则有效的解决了这个问题。

2. 需要设立防微振动平台的设备是比较精密的设备，一般放置在洁净室内，施工作业时需要注意安全、清洁；可以采用钢结构材料，不易产尘，从长期使用角度讲有利于洁净度的保持。

3. 钢平台的施工相对其他平台而言，施工周期比较短，安装比较简单，能更早地使生产设备投入生产。拿混凝土平台做对比，其安装时间一般在4~6周，而钢平台的安装周期一般在2~3周，施工的时间缩短了一半。而且钢平台在厂房内运输时为散件，无需整件运输，相对比较安全，减少了更为复杂的安全保护措施。

4. 由于平台与厂房内的活动地板是相隔开的，大大堵隔了除设备本身以外的其他振动，减少了环境振动对设备的影响，使得生产能够平稳高效的运行。因而防微振动平台也被形象得称为独立基础。

二、适用范围

适用于经过调试并已经具备一定洁净度等级的洁净厂房，并且有一定微振动要求的设备。

三、工艺原理

将平台设立在地面或者格栅板上，与原有的活动地板分离，使之不与活动地板相互传递振动，阻隔相邻设备所产生的微振。通过自身的结构构造，将防微振动控制在振动规范或设备对基础的要求之内，能够独立吸收来自设备本身运作产生振动的能量，避免洁净室建筑结构(比如楼板、梁等)所产生的防微振动对其产生影响。